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分析真空镀膜产生掉膜的现象

2015-7-29 15:50:36      点击:

真空电镀时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:

    1、表面清洁度

    产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

    2、清洗过程中的问题

    镀前清洗不到位,或更换了清洗液。

    3、工艺的问题

    工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。

    4、靶材的问题

    钛靶是否中毒,检查和更换。

    5、真空腔是否漏气

    进行一次捡漏。

    6、产品表面氧化

    氧化的原因很多,可以自行判断处理。