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真空镀膜机详细操作流程

2017-6-26 11:55:23      点击:

一、 真镀前准备

1、开机前准备操作:

气路——水路——开电源总闸——按下电源控制——开启真空计——开启粗抽泵——开启前置阀——(J1灯亮)开启扩散泵。

2、操作说明:

1. 气路开启:开启楼上空气压缩系统,检查镀膜机后面的气压表到70kg/cm2后,气路检查完毕,而压力不到就进行其它的操作容易导致开前置阀时,虽然显示前置阀开启,但是前置阀却实际为关闭的——阀门的开启与关闭主要靠压缩空气驱动。

2. 水路开启:打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。

3. 电路开启:检查电柜箱的闸刀是否送上(一般情况下是送上的),开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位,在镀膜机正上面的控制面板上,按下电源控制,开启真空计、按下粗抽泵,开启前置阀,检查水泵是否在工作,水路是否通畅,过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。

二、真镀操作

1. 真镀操作流程:

换钨丝——换铝丝——上产品——关门——关前置阀——开启粗抽阀——(至J5灯亮)关粗抽阀——开前置阀——开精抽阀——(至J6灯亮)开镀膜开关——调节镀膜电流——电流复位—关镀膜开关——关精抽阀——(10S左右后)按下工作室放气——开门。

2.操作说明:

(1) 以上过程为手动操作的过程。

(2) 自动操作:按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会由程序自动完成至开门。

(3) 半自动操作:在触摸屏上面按住自动按钮不放,几秒钟后,按钮会在自动和半自动之间转换,将按钮调至半自动,然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮(显示屏上会显示不停闪动的可镀),需手动操作整个镀膜过程,以及剩余操作。

三、关机准备与关机

关机准备:

关扩散泵——(1h后)关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。

关机操作说明:

(1) 关扩散泵后,为了下次使用的抽真空时间不至于太长,一般将腔体抽成负压,一般操作为关掉扩散泵后,关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后,关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。

(2) 腔体抽成负压完成后,一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。

(3) 镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉,水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏;气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。